Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten

Aachen / Shaker (2005) [Dissertation / PhD Thesis]

Page(s): XXIII, 135 S. : Ill., graph. Darst.

Authors

Selected Authors

Smolka, Gregor

Identifier

  • ISBN: 3-8322-4686-X
  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-122342