Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten

Smolka, Gregor; Dilthey, Ulrich (Thesis advisor)

Aachen / Shaker (2005) [Dissertation / PhD Thesis]

Page(s): XXIII, 135 S. : Ill., graph. Darst.

Identifier

  • ISBN: 3-8322-4686-X
  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-122342