Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten

Aachen / Shaker (2005) [Doktorarbeit]

Seite(n): XXIII, 135 S. : Ill., graph. Darst.

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Smolka, Gregor

Identifikationsnummern

  • ISBN: 3-8322-4686-X
  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-122342