µm-genaues Fügen mit dem Elektronenstrahl

München / Hanser (2007) [Fachzeitschriftenartikel]

Mikroproduktion
Band: 2007
Ausgabe: 1
Seite(n): 24-26

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Dilthey, Ulrich
Dorfmüller, Thomas

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-035176